ФГУП "ВНИИФТРИ" выступило организатором круглого стола "Обеспечение единства измерений параметров микроэлектронных структур на пластине", который прошел в ходе работы XV Всероссийской научно-технической конференции "Метрология в радиоэлектронике". Модераторами круглого стола выступили заместитель генерального директора по радиотехническим и электромагнитным измерениям ФГУП "ВНИИФТРИ" Иван Малай и технический директор ООО "МВЭЙВ" Вячеслав Михайлович Муравьёв.
Ключевыми спикерами стали ведущие учёные в области радиоизмерений, а также технические специалисты предприятий-производителей микроэлектроники, в частности, специалисты ФГУП "ВНИИФТРИ", Восточно-Сибирского филиала ФГУП "ВНИИФТРИ", Института физики твёрдого тела РАН, ООО "МВЭЙВ", ООО "ПЛАНАР" и других.
Основной темой обсуждения стал создаваемый во ВНИИФТРИ специальный эталон единиц комплексного коэффициента отражения и комплексного коэффициента передачи микроэлектронных структур на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц, а также возможности его применения для обеспечения единства и точности измерений в данной области, в том числе с использованием разработанных ФГУП "ВНИИФТРИ" калибровочных подложек и СВЧ-зондов.
"ВНИИФТРИ сможет обеспечить отечественную микроэлектронику измерительными СВЧ-зондами и калибровочными подложками, параметры которых прослеживаются к эталонам электрофизических и геометрических величин. Создание системы метрологического обеспечения комплексного коэффициента отражения и комплексного коэффициента передачи микроэлектронных структур на пластине будет способствовать повышению эффективности разработки и производства СВЧ-микроэлектроники и позволит обеспечить технологическую независимость в данной области измерений", - отметил Иван Малай.
Также участники рассмотрели методы воспроизведения и передачи единиц комплексного коэффициента отражения и передачи, обеспечения метрологической прослеживаемости результатов измерений на пластине, а также метрологического статуса применяемых СВЧ-измерительных установок и комплексов. В ходе дискуссии были затронуты проблемы совместимости калибровочных подложек и измерительных зондов с действующим оборудованием.
По итогам круглого стола определены пути решения ключевых задач обеспечения единства измерений комплексных коэффициентов отражения и передачи микроэлектронных структур на пластине. Реализация предложенных решений позволит повысить точность измерений при производстве продукции.
Источник: